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D07-19BM質量流量控制器

產品簡介

主要技術指標 型號 D07-19B 1 流量規格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 線性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 D07-19BM質量流量控制器

廠商性質:代理商
更新時間:2015-06-09
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D07-19BM質量流量控制器 

主要技術指標 型號 D07-19B 1 流量規格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 線性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 重復精度 ±0.2 % F.S. 5 響應時間

D07-19BM質量流量控制器

特 點: ★高精度,快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,標準機械接頭 ★兼容用 途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

     





型號   D07-19B
1 流量規格   ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM      ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

2 準確度     ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
3 線性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
4 重復精度 ±0.2 % F.S.
5 響應時間 1 ~ 4 sec
6 氣壓降 <0.02 MPa (2.9 psid)

7 耐壓 10 MPa (1450.4 psig)

8 工作環境溫度5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
10 電源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 mm   Swagelok:127×38×107 VCR:124×38×107
19 重量 kg 0.7 



注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為: 溫度 --- 273.15K ( 0℃ );
氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (Full Scale): 滿量程值



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